事業紹介

取扱いガス/プリカーサー一覧

A

  • Ar[アルゴン]
  • AsH3[アルシン]
  • Ar/Xe/Ne[混合ガス]

B

  • BCl3[三塩化ホウ素]
  • BF3[三フッ化ホウ素]
  • B2H6[ジボラン]

C

  • CCl4[四塩化炭素]
  • CF4[四フッ化メタン]
  • C2F6[六フッ化エタン]
  • C4F6[ヘキサフルオロ1,3ブタジエン]
  • C4F8[パーフルオロシクロブタン]
  • CH4[メタン]
  • C2H2[アセチレン]
  • C3H6[プロピレン]
  • C3H8[プロパン]
  • CHF3[トリフルオロメタン]
  • CH3F[フルオロメタン]
  • C2HF5[ペンタフルオロエタン]
  • CH3OH[メタノール]
  • Cl2[塩素]
  • CO[一酸化炭素]
  • CO2[二酸化炭素]

F

  • F2/Kr/Ne[混合ガス]
  • F2/Ar/Xe/Ne[混合ガス]

G

  • GeH4[ゲルマン]

H

  • H2[水素]
  • H2/Ne[混合ガス]
  • HBr[臭化水素]
  • HCl[塩化水素]
  • HCl/H2/Ne[混合ガス]
  • He[ヘリウム]
  • H2S[硫化水素]
  • H2Se[セレン化水素]

K

  • Kr[レアガス/クリプトン]
  • Kr/Ne[レア混合ガス]

N

  • N2[窒素]
  • Ne[レアガス/ネオン]
  • NF3[三フッ化窒素]
  • NH3[アンモニア]
  • NO[一酸化窒素]
  • N2O[亜酸化窒素]

O

  • O2[酸素]

P

  • PH3[ホスフィン]

S

  • SF6[六フッ化硫黄]
  • SiCl4[四塩化ケイ素]
  • SiF4[四フッ化ケイ素]
  • SiH4[モノシラン]
  • SiHCl3[トリクロロシラン]
  • SiH2Cl2[ジクロロシラン]
  • Si2H6[ジシラン]

T

  • TEOS[テトラエトキシシラン]
  • TiCl4[四塩化チタン]
  • TrisDMAS[トリジメチルアミノシラン]

W

  • WF6[六フッ化タングステン]

X

  • Xe[レアガス/キセノン]
  • Xe/Kr/Ne[レア混合ガス]
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