取扱いガス/プリカーサー一覧
A
- Ar[アルゴン]
- AsH3[アルシン]
- Ar/Xe/Ne[混合ガス]
B
- BCl3[三塩化ホウ素]
- BF3[三フッ化ホウ素]
- B2H6[ジボラン]
C
- CCl4[四塩化炭素]
- CF4[四フッ化メタン]
- C2F6[六フッ化エタン]
- C4F6[ヘキサフルオロ1,3ブタジエン]
- C4F8[パーフルオロシクロブタン]
- CH4[メタン]
- C2H2[アセチレン]
- C3H6[プロピレン]
- C3H8[プロパン]
- CHF3[トリフルオロメタン]
- CH3F[フルオロメタン]
- C2HF5[ペンタフルオロエタン]
- CH3OH[メタノール]
- Cl2[塩素]
- CO[一酸化炭素]
- CO2[二酸化炭素]
F
- F2/Kr/Ne[混合ガス]
- F2/Ar/Xe/Ne[混合ガス]
H
- H2[水素]
- H2/Ne[混合ガス]
- HBr[臭化水素]
- HCl[塩化水素]
- HCl/H2/Ne[混合ガス]
- He[ヘリウム]
- H2S[硫化水素]
- H2Se[セレン化水素]
K
- Kr[レアガス/クリプトン]
- Kr/Ne[レア混合ガス]
N
- N2[窒素]
- Ne[レアガス/ネオン]
- NF3[三フッ化窒素]
- NH3[アンモニア]
- NO[一酸化窒素]
- N2O[亜酸化窒素]
S
- SF6[六フッ化硫黄]
- SiCl4[四塩化ケイ素]
- SiF4[四フッ化ケイ素]
- SiH4[モノシラン]
- SiHCl3[トリクロロシラン]
- SiH2Cl2[ジクロロシラン]
- Si2H6[ジシラン]
T
- TEOS[テトラエトキシシラン]
- TiCl4[四塩化チタン]
- TrisDMAS[トリジメチルアミノシラン]
X
- Xe[レアガス/キセノン]
- Xe/Kr/Ne[レア混合ガス]
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